SCCM是质流单位，表示标准毫升每分钟，与一般常用的流量单位是不同的，常见的流量单位例如：1毫升每秒，代表单位时间流过的体积，而质流是表示单位时间通过的气体莫耳数，这种单位通常用于化学反应中，如CVD等需要精确控制原子成分比之场合。